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Vakuumbeschichtung: Band 3: Anlagenautomatisierung MeÃY- Und Analysentechnik

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Vakuumbeschichtung: Band 3: Anlagenautomatisierung MeÃY- Und Analysentechnik

Vakuumbeschichtung: Band 3: Anlagenautomatisierung MeÃY- Und Analysentechnik in Bloomington, MN

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Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
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