Oberflächen- und Dünnschicht-Technologie: Teil II: Oberflächenmodifikation durch Teilchen und Quanten

Viele Hochtechnologie-Anwendungen, an denen mikroelektronische, optische, optoelektronische und magnetische Bauelemente beteiligt sind, beruhen auf oft einzigartigen physikalischen Eigenschaften dünner Schichten. Beschichtungen zum Schutz gegen Verschleiß, Korrosion und Hochtemperaturoxidation verfügbarer und preiswerter Grundwerkstoffe erlauben den rationellen Einsatz von Material, eine kostengünstige Fertigung und sparsamen Energieverbrauch. Durch eine geeignete Oberflächenveredelung kann die Gebrauchsdauer von Werkzeugen und Bauteilen beträchtlich erhöht werden. Bisher fehlte eine Darstellung der für die industrielle Praxis wichtigen Oberflächentechnologien in zusammenfassender Form. Um zu einer solchen Darstellung zu gelangen, erschien es angesichts der Vielzahl dieser Technologien zweckmäßig, sie in zwei große Gruppen zu unterteilen: I. Methoden zum Auftragen von Schichten auf ein Substrat; II: Methoden zur Modifizierung der Oberfläche eines Werkstückes durch geeignete Behandlungsverfahren. Im vorliegenden zweiten Teil der (entsprechend dieser Einteilung) auf zwei Bände angelegten Monographie werden die Methoden der zweiten Gruppe, d.h. die Modifikationsverfahren dargestellt.