Mikrosysteme: Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Das Feld der Mikrosysteme ist ein sich schnell entwickelndes Themengebiet. Getrieben wird dies zum einen durch die Integration von Mikrosensoren in Smartphones und der damit einhergehenden rasanten Steigerung der produzierten Stückzahlen, zum anderen durch die Nutzung dieser Sensoren in neuen Einsatzgebieten, wie z.B. der Medizintechnik. Derselbe Trend ist auch in der Automobiltechnik zu beobachten. Auch hier ist der Entwicklungsdruck zu immer intelligenteren Sensorlösungen durch eine Vielzahl neuer Sicherheits- und Komfortfunktionen in den letzten Jahren gestiegen. Mit dem hier vorliegenden Buch soll dem Leser ein Hilfsmittel zur Verfügung gestellt werden, dass es ihm ermöglicht, den Stand der Technik kennen zu lernen sowie Mikrosysteme erfolgreich einzusetzen. Hierzu werden die technologischen Grundlagen behandelt und aktuelle Realisierungsbeispiele aufgezeigt. Einen Großteil des Buches nehmen die Beschreibung von Parametersätzen verschiedener Sensoren sowie deren Bewertung für verschiedene Einsatzfelder ein. In der hier vorliegenden 2. Auflage des Buches „Mikrosystemtechnik" wurden, neben einer Aktualisierung der aufgeführten Sensorbausteine und Technologien, das Kapitel Aktoren und RF-MEMS hinzugefügt.